【半导体设备板块延续强势 中科飞测涨超15%】财联社5月20日电，早盘半导体设备板块延续强势，中科飞测涨超15%，华海清科、华亚智能、长川科技、拓荆科技跟涨。消息面上，长江证券认为，2025至2027年全球晶圆厂设备支出将持续增长。国内龙头在刻蚀、薄膜沉积、清洗等关键设备领域市占率稳步提升，且研发投入持续加码，产品矩阵不断完善，在国产化替代趋势下长期成长性明确。