“中国刻蚀机之父”尹志尧：我们现在已经有能力来做最先进的设备

金十数被称为“中国刻蚀机之父”的中微半导体设备（上海）股份有限公司董事长兼总经理尹志尧表示，2023年12月，中微决定进入大平板设备领域（此前大概有17种工艺设备全部依赖进口）。这种设备重达150吨，长15米宽15米，有两层半楼高。按照尹志尧的经验，开发这样的设备至少需要3-7年。但中微的精锐团队只用12个月就从一张白纸做出了可运转的设备，不到4个月就达到客户下一代要求，18个月就运到生产线上并通过核准。我们现在已经有能力来做最先进的设备。